磁敏傳感器是傳感器產(chǎn)品的一個(gè)重要組成部分,隨著我國磁敏傳感器技術(shù)的發(fā)展,其產(chǎn)品種類和質(zhì)量將會(huì)得到進(jìn)一步發(fā)展和提高,進(jìn)軍汽車、民用儀表等這些量大面廣的應(yīng)用領(lǐng)域即將實(shí)現(xiàn)。國產(chǎn)的電流傳感器、高斯計(jì)等產(chǎn)品日前已經(jīng)開始走入國際市場,與國外產(chǎn)品的差距正在快速縮小?!?/p>
一、磁敏傳感器的發(fā)展特點(diǎn)
1.集成電路技術(shù)的應(yīng)用。將硅集成電路技術(shù)應(yīng)用于磁敏傳感器,制成集成磁敏傳感器。
2.InSb薄膜技術(shù)的開發(fā)成功,使得霍爾器件產(chǎn)能劇增,成本大幅度下降。
3.強(qiáng)磁體合金薄膜得到廣泛應(yīng)用。各種磁阻器件出現(xiàn),應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。
4.巨磁電阻多層薄膜的研究與開發(fā)。新器件的高靈敏度、高穩(wěn)定性,引起研制高密度記錄磁盤讀出頭的科技人員的極大關(guān)注。
5.非晶合金材料的應(yīng)用。與基礎(chǔ)器件配套應(yīng)用,大大改善了磁傳感器性能。
6.Ⅲ—V族半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)材料的開發(fā)和應(yīng)用。通過外延技術(shù),形成異質(zhì)結(jié)構(gòu),提高磁敏器件的性能。
二、國外磁敏傳感器的現(xiàn)狀
1.國外磁傳感器的常見種類
就市場占有情況來看,國外磁敏傳感器主要品種依然是霍爾元件、磁阻元件。近期的巨磁阻元件也有良好的發(fā)展空間。
2.外磁傳感器的代表廠商:
·霍爾元件:日本旭化成;日本東芝;美國Honeywell公司;美國Allogro公司。
·磁阻器件:日本SONY公司;荷蘭PHILIPS公司。
3.國外磁傳感器的應(yīng)用情況
磁敏傳感器應(yīng)用的最大特點(diǎn)是無接觸測量。